La bomba de vacío DVE sellada con aceite es la bomba de vacío DVE de paletas rotativas, que generalmente es la bomba de vacío DVE de la etapa delantera de la unidad de vacío. Este tipo de bomba comprime varios gases mezclados a presión atmosférica y los descarga en el tubo de escape en el rango de 60 ~ 100 ℃.

Si la presión, concentración y temperatura de los productos peligrosos en la bomba son relativamente altas, estas sustancias se acumulan en la bomba y los accesorios de la bomba, y estas sustancias entran en contacto con el aire circundante en el tubo de escape, etc., lo que constituirá peligros potenciales.

Para los gases peligrosos utilizados o generados en la fabricación de semiconductores, se deben tomar métodos de medición apropiados para prevenir incendios y explosiones, asegurar el funcionamiento normal del equipo y prevenir intoxicaciones agudas o crónicas de los operadores, el personal de mantenimiento y el personal de servicio. Por razones de seguridad, se deben equipar bombas de vacío DVE adecuadas y accesorios con suficiente potencia de bombeo, y se deben adoptar métodos razonables de operación y mantenimiento, y se deben equipar dispositivos de monitoreo apropiados.
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